FT-3120 系列半自动四探针测试仪
发布时间: 2024-04-29 16:36:08 点击: 2872
FT-3120 系列半自动四探针测试仪
一.功能描述:
四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量,报表输出数据统计分析;提供标准校准电阻件.
二.适用范围:
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
三.技术参数:
规格型号 |
FT-3120A |
FT-3120B |
FT-3120C |
FT-3120D |
1.电阻 |
10^-3~2×10^4Ω |
10^-5~2×10^5Ω |
10^-6~2×10^5Ω |
10-4~1×107Ω |
2.方块电阻 |
10^-3~2×10^4Ω/□ |
10^-5~2×10^5Ω/□ |
10^-6~2×10^5Ω/□ |
10-4~1×107Ω/□ |
3.电阻率 |
10^-4~2×10^5Ω-cm |
10^-6~2×10^6Ω-cm |
10-7~2×106Ω-cm |
10-5~2×108Ω-cm |
4.测试电流 |
0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
10mA,100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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5.电流精度 |
±0.1% |
±2% |
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6.电阻精度 |
≤0.3% |
≤10% |
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7.PC软件操作 |
PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析:过程数据,大、小值,均值,方差,变异系数,样品编号,测试点数统计报表生成等 |
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8.探针范围 (选购): |
探针压力为100-550g;依据样品接触需要手动调节 |
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9.探针 |
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3% 圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制 |
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10.可测晶片 尺寸选购
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晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm); 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
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11.分析模式 |
自动或手动单点模式 |
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12.加压方式 |
测量重复性:重复性≤3% |
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13.安全防护 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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14.测试环境 |
实验室环境 |
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15.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W |
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16.选购项目 |
电脑和打印机 |