四探针电阻率/方阻测试仪的分类介绍
发布时间： 2022-08-04 15:02:32 点击： 795
四探针电阻率/方阻测试仪的分类介绍
在半导体等新型应用材料行业中，四探针测试仪是不陌生的，几乎是必备检测手段，比如硅片晶圆，二代，三代芯片应用的半导体材料；半导体材料是个统称，还有其他类型的根据不同的应用场景不同而备制方式也不同，比如：涂层类，薄膜类及导体与绝缘材料的添加备制等新材料都属于半导体性质，这些材料质量的检测都离不开四探针方法的四探针测试仪来测量.
一.四探针测量方法分类
四探针电阻率/方阻测试仪一般来说所有的四探针测试仪方法都不一定相同，不同方法对测量准确性及精度影响比较大的，常见的有单一计算方法和组合计算测量方法；组合方法更加优在准确性和重复性.特别是应用于高要求的晶圆类产品的测量时突出表现.
二.四探针测试仪自动化程度来分类
四探针电阻率/方阻测试仪大体分类为，全自动类型和半自动类型；全自动类型成本高，精度和稳定性要求也高，如全自动四探针测试仪一般采用MAP地图图谱方式来描述整体样品均匀性及方阻和电阻率数据，也就是应用2D和3D 图.
而半自动类设备，里面也分类为简易的数据显示结果，和半人工配合操控的类型数据量更加丰富些，
三.四探针电阻率/方阻测试仪按照便捷性划分为手持式和台式机型，比如需随身携带的手持四探针测试仪就是便捷用途；
四.在依据不同的测试条件下也可以做划分：比如常温下使用的，及高温四探针测试等
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